本發(fā)明涉及芯片生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域,具體的說是一種芯片生產(chǎn)用光刻機(jī),包括底板、高度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)、工作臺(tái)、檢測結(jié)構(gòu)、LED燈、積塵結(jié)構(gòu)和真空泵;底板與用于放置芯片的工作臺(tái)之間設(shè)有調(diào)節(jié)高度的高度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu);工作臺(tái)的內(nèi)部設(shè)有提供負(fù)壓的真空泵;工作臺(tái)上設(shè)有用...