本技術(shù)涉及高端裝備制造技術(shù)領(lǐng)域，提供一種電路板立式左右交換框數(shù)字曝光LDI設(shè)備以及曝光系統(tǒng)，其包括：支撐座；曝光組件設(shè)于支撐座，用于對(duì)工件進(jìn)行曝光；第一框部垂直于或傾斜于支撐座設(shè)置，用于安裝工件并使工件垂直或傾斜；第二框部垂直于或傾斜于...

本技術(shù)涉及高端裝備制造技術(shù)領(lǐng)域，提供一種易于取放電路板的立式數(shù)字曝光LDI設(shè)備以及曝光系統(tǒng)，其包括：支撐座；曝光組件，豎立設(shè)于所述支撐座，用于曝光工件；框架部，所述框架部包括貫穿所述框架部第一表面和第二表面的通孔；所述框架部垂直設(shè)置于所...

本技術(shù)提供的一種DI光刻機(jī)成像鏡頭主動(dòng)防污染裝置，包含防塵玻璃固定座、防塵玻璃、風(fēng)刀模塊，防塵玻璃固定座上設(shè)置有安裝孔，防塵玻璃設(shè)置于安裝孔上，風(fēng)刀模塊包含風(fēng)刀主體、閥門(mén)，風(fēng)刀主體包含集氣腔、與集氣腔連通的出氣縫隙，閥門(mén)與集氣腔連通，通...

本技術(shù)提供的一種提升曝光對(duì)位精度的設(shè)備，包含機(jī)身，機(jī)身上設(shè)置有進(jìn)料機(jī)構(gòu)、進(jìn)料向拍中機(jī)構(gòu)、左側(cè)橫向拍中機(jī)構(gòu)、右側(cè)橫向拍中機(jī)構(gòu)、若干激光除油墨機(jī)構(gòu)，進(jìn)料機(jī)構(gòu)用于帶動(dòng)PCB板沿Y軸方向向前輸送，進(jìn)料向拍中機(jī)構(gòu)用于將PCB板沿著進(jìn)料的方向向中間...

本技術(shù)提供的一種具有光功率檢測(cè)功能的DI光刻機(jī)成像鏡頭，包含光處理模塊、成像鏡筒，光處理模塊包含殼體，殼體內(nèi)部設(shè)置有內(nèi)腔，殼體上設(shè)置有光敏器件，光敏器件用于監(jiān)測(cè)內(nèi)腔中的光線(xiàn)強(qiáng)度。光發(fā)生模塊將光線(xiàn)照射到內(nèi)腔中時(shí)，光敏器件可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)到內(nèi)腔...

本技術(shù)提供的一種具有掉板監(jiān)測(cè)功能的PCB移載機(jī)構(gòu)，包含X軸向連接梁、兩個(gè)相對(duì)設(shè)置的夾臂機(jī)構(gòu)，夾臂機(jī)構(gòu)包含沿X軸方向滑動(dòng)連接在X軸向連接梁上的Y軸向安裝梁、設(shè)置于X軸向連接梁上且與Y軸向安裝梁驅(qū)動(dòng)連接的X軸向直線(xiàn)驅(qū)動(dòng)裝置、若干分布在Y軸向...

本技術(shù)提供的一種防掉板的PCB移載機(jī)構(gòu)，其特征在于，包含安裝梁、旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包含旋轉(zhuǎn)連接于安裝梁一側(cè)轉(zhuǎn)軸、設(shè)置于安裝梁一側(cè)用于驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置，轉(zhuǎn)軸上固定連接有若干鉤子，安裝梁上固定連接有與鉤子對(duì)應(yīng)設(shè)置的頂塊。通...

本發(fā)明提供的一種FPC?RTR雙面LD?I機(jī)，包含底座、輸料機(jī)構(gòu)、雙面曝光機(jī)構(gòu)；輸料機(jī)構(gòu)包含龍門(mén)架、Z軸向連接板、第一Z軸向直線(xiàn)驅(qū)動(dòng)裝置、上定位機(jī)構(gòu)、下定位機(jī)構(gòu)，Z軸向連接板上貫穿設(shè)置有曝光窗口；雙面曝光機(jī)構(gòu)包含Y軸向直線(xiàn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、相對(duì)...

本發(fā)明公開(kāi)了一種半導(dǎo)體光刻機(jī)設(shè)備環(huán)境凈化檢測(cè)裝置，涉及光刻機(jī)應(yīng)用領(lǐng)域，包括第二箱體，所述第二箱體的內(nèi)部設(shè)置有進(jìn)風(fēng)管道和出風(fēng)管道，且進(jìn)風(fēng)管道和出風(fēng)管道的外部均設(shè)置有外凸環(huán)、活動(dòng)接頭和第一彈簧，所述第二箱體的內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有正反螺紋桿，且正反...

本發(fā)明涉及高端裝備制造技術(shù)領(lǐng)域，提供一種易于取放電路板的立式數(shù)字曝光LDI設(shè)備以及曝光系統(tǒng)，其包括：支撐座；曝光組件豎立設(shè)于所述支撐座，用于曝光工件；框架部，豎立于所述支撐座，所述框架部包括貫穿所述框架部第一表面和第二表面的通孔。通過(guò)將...

本發(fā)明涉及高端裝備制造技術(shù)領(lǐng)域，提供一種電路板立式左右交換框數(shù)字曝光LDI設(shè)備以及曝光系統(tǒng)，其包括：支撐座；曝光組件設(shè)于所述支撐座，用于對(duì)工件進(jìn)行曝光；第一框部，所述第一框部豎立于所述支撐座設(shè)置，用于安裝工件并使工件豎立；第二框部，所述...