一種關鍵區域識別方法及靜態參數配置文件的獲取方法，獲取待測樣本的待測圖像，所述待測圖像中包括多個關鍵區域；根據關于所述關鍵區域的靜態參數配置文件，得到每個關鍵區域對應的初始區域；對所述初始區域進行圖像處理，通過形態學操作得到優化區域；根...

本發明公開了一種晶圓缺陷檢測中微劃痕濾除方法、裝置、設備及存儲介質，其中方法包括：提取晶圓圖像的頻譜特征，并基于頻譜特征進行方向特征分析，計算得到疑似存在微劃痕的目標區域的中心頻率；根據中心頻率構建Gabor濾波器，并利用Gabor濾波...

本申請公開一種散斑抑制裝置和檢測設備，包括沿光路設置的角度掃描模塊和空間編碼孔徑模塊，空間編碼孔徑模塊具有多個供光束通過的光通孔，光通孔能夠對所通過的光束進行相位調制，且不同光通孔之間的調制相位相互獨立，角度掃描模塊用于調節光束的傳播方...

一種圖像匹配方法、缺陷檢測方法和存儲介質，圖像匹配方法包括：將模板圖像作為窗口在晶圓的待檢測圖像上逐像素滑動，計算每個滑動位置處模板圖像與對應窗口區域之間的相似度；基于相似度選取若干個滑動位置為候選位置；將模板圖像與各個候選位置對應的窗...

本申請提供一種缺陷數據融合方法、裝置、設備及存儲介質，一種缺陷檢測方法，方法包括：獲取多個目標通道中每個目標通道的多個目標缺陷數據以及每個目標通道的光學特性；根據每個目標通道的光學特性從多個目標通道中確定至少一個特性匹配的融合通道對；在...

本發明公開了一種晶圓圖像預處理方法、裝置、設備及存儲介質，其中方法包括：獲取待測晶圓的初始待檢圖像；對初始待檢圖像進行噪聲分布估計，定位初始待檢圖像中的高亮缺陷區域；對高亮缺陷區域進行平滑處理，得到平滑圖像以及高亮缺陷區域與平滑圖像上對...

本申請實施例公開一種圖像聚類方法，用于實現高精度聚類，減少聚類時間。本申請實施例方法包括：獲取包括目標聚類半徑和起始聚類半徑的預設聚類參數和每個原始的工件圖像中各缺陷塊的像素點信息；若目標聚類半徑小于起始聚類半徑，則確定原始的工件圖像大...

本發明公開了一種晶圓崩邊檢測方法、設備及存儲介質，其中方法包括：獲取待測晶圓的邊緣的全部邊緣圖像；分別對每張邊緣圖像中晶圓邊緣對應的邊緣像素點進行提取，并基于邊緣像素點的分布特征確認異常邊緣并統計個數；利用邊緣像素點的位置確認坐標變化程...

本申請公開了一種圖像的配準對齊方法、裝置、設備及存儲介質，可應用于圖像處理技術領域，該方法包括：對模板圖像進行分塊，得到n個模板塊；所述n≥2；根據所述n個模板塊對待匹配圖像進行分塊，得到n個待匹配塊；每一個模板塊有唯一對應的待匹配塊；...