本技術(shù)涉及一種PVD設(shè)備傳輸過(guò)渡裝置,包括傳輸腔、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、擋件、壓緊機(jī)構(gòu),傳輸腔的一側(cè)開(kāi)設(shè)有開(kāi)口;旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)組件、轉(zhuǎn)軸,轉(zhuǎn)軸位于傳輸腔內(nèi),旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)組件與轉(zhuǎn)軸連接用于驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸繞自身軸線轉(zhuǎn)動(dòng);擋件與轉(zhuǎn)軸連接;裝置具有封堵?tīng)顟B(tài),當(dāng)...