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        銓揚精密有限公司專利技術

        銓揚精密有限公司共有1項專利

        • 本發明提供一種半導體干燥室排氣管組,裝設于半導體干燥室外部,主要包含一排氣豎管結合多組排氣橫管,于排氣橫管上設有復數個導氣管組,接設于半導體干燥室外部一側面上,且與半導體干燥室內部導通,而排氣豎管末端與抽風設備導接;其中,各導氣管組的外...
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