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        深圳市諾峰半導體設備有限公司專利技術

        深圳市諾峰半導體設備有限公司共有1項專利

        • 本發明公開了一種帶有碎屑清理功能的CMP研磨機,涉及CMP研磨機技術領域,包括研磨機殼、研磨盤、噴液頭、研磨裝置和清理裝置,研磨裝置能夠對研磨過程中產生的碎屑進行限制,使碎屑無法隨研磨液自由擴散,絕大部分碎屑在生成后立即被限制在預設區域...
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