提供了從基底表面上除去諸如阻焊膜之類的有機膜的方法和設備。此方法和設備，即使在高溫下也是非常安全的，并且使用了可以循環并重新使用的處理液。將一般包括碳酸亞乙酯、碳酸亞丙酯或這兩種化合物的混合液體的，特別是含有溶解臭氧的處理液與帶有有機膜...