本發(fā)明專(zhuān)利技術(shù)公開(kāi)了一種層架式解耦的XY運(yùn)動(dòng)平臺(tái),包括底座、X軸驅(qū)動(dòng)單元、Y軸驅(qū)動(dòng)單元、第一運(yùn)動(dòng)平臺(tái)和第二運(yùn)動(dòng)平臺(tái),第一運(yùn)動(dòng)平臺(tái)可沿Y軸方向單自由度往復(fù)滑動(dòng)的設(shè)置于第二運(yùn)動(dòng)平臺(tái),X軸驅(qū)動(dòng)單元具有用于驅(qū)動(dòng)第二運(yùn)動(dòng)平臺(tái)沿X軸方向往復(fù)滑動(dòng)的第二動(dòng)力輸出端,Y軸驅(qū)動(dòng)單元具有用于驅(qū)動(dòng)第...