本文描述離子交換膜，其包括多孔聚合物膜和在所述膜表面處的咪唑離子交換基團；離子交換膜和含有所述離子交換膜的過濾器；和使用所述離子交換膜和過濾器從液體分離帶電生物分子的方法。子的方法。子的方法。

本實用新型涉及具有氟化釔涂層的襯底。描述襯底，其包含：高縱橫比表面和非高縱橫比表面、至少兩個涂層，一個涂層位于高縱橫比表面處且第二涂層位于非高縱橫比表面處，且具有氟化外表面；制備這些涂層的方法；以及包含所述涂層的襯底、表面、設備和設備組...

本實用新型涉及用于可汽化固體源材料的汽化器容器，其包括一或多個試劑支撐面板，所述試劑支撐面板在豎直定向上，例如當填充所述汽化器容器時，用作所述容器的內部空間的分隔物，而當旋轉到水平定向時，所述面板支撐置于由所述面板和所述容器的內壁形成的...

本發明提供一種用于制備某些具有烷基和烷氨基取代基的有機錫化合物的高效且有效的方法。所述方法提供呈高純度結晶形式的有機錫化合物，所述有機錫化合物在例如用于制造某些微電子裝置的極紫外光(EUV)光刻技術中特別適于用作沉積高純度氧化錫薄膜的前...

本申請案涉及前驅物輸送系統、前驅物供應封裝及相關方法。一些實施例涉及用于產生氣態前驅物的前驅物輸送系統。所述前驅物輸送系統可包含容納固態前驅物材料的一或多個前驅物供應封裝。所述一或多個前驅物供應封裝可經配置以將所述固態前驅物材料加熱到足...

描述用于在受控工藝條件下處理靜電卡盤，包含(例如)用于在固化在所述靜電卡盤的兩個層之間形成接合的粘合劑的步驟期間處理靜電卡盤的方法及設備(裝置)。卡盤的方法及設備(裝置)。卡盤的方法及設備(裝置)。

本發明提供一種沉積抗蝕刻SiOCN膜的等離子體增強型原子層沉積(PEALD)方法。這些膜提供改良的生長速率、改良的步階覆蓋率及對濕蝕刻劑及含有O2及NH3共反應物之后沉積等離子體處理的極佳抗蝕刻性。此種PEALD方法依賴于一或多種前體與...

本申請案涉及一種汽化器組合件。特定來說，提供包含汽化器容器的組合件。在一些實施例中，所述汽化器容器界定內部容積。在一些實施例中，所述汽化器容器經配置以在所述內部容積內容納至少一種源試劑。在一些實施例中，所述組合件包含加熱器。在一些實施例...

提供利用某些含硅鹵化物、含硅酰胺和某些金屬前體連同含氮還原氣體用于某些金屬氮化物襯底表面的成核的改進方法。在利用預處理步驟的同時，所述方法顯示極大改進的成核，其中具有沉積在其上的此一金屬氮化物膜的微電子裝置襯底具有約至約的厚度及小于約1...

本申請案涉及一種雙面墊調節器。一種CMP墊調節器組合件包含背板，其包含包括多個第一安裝位置的第一面及包括多個第二安裝位置的第二面。多個段固定到所述第一面。所述段包含具有第一表面及與所述第一表面相對的第二表面的襯底。多個突起與所述襯底一體...

本申請案涉及一種液體過濾設備。描述液體過濾器設備，其包含：外殼；內部，其在所述外殼內；筒組合件(另稱為“濾筒”)，其容納于所述外殼內；及通氣孔，其允許氣態流體從所述外殼的內部釋放到所述外殼的外部，或包含靜電放電緩解特征。解特征。解特征。

本申請涉及一種可移除過濾器濾芯及用于其的密封閥。所述可移除過濾器濾芯包含容納過濾器的過濾器外殼和耦合到所述過濾器外殼的開放端的密封閥。所述密封閥配置成將所述可移除過濾器濾芯以可移除方式耦合到過濾器頭部。打開位置允許流體流入和流出所述過濾...

通過兩步式過濾程序來純化檸檬酸以移除金屬離子。第一過濾器用于執行第一過濾，接著第二過濾器用于對已經受第一過濾的檸檬酸溶液執行第二過濾。所述第一過濾器及所述第二過濾器可包含相同濾膜材料。與用作所述第二過濾器的過濾器相比，用作所述第一過濾器...

一種氣體取樣阱包含第一級和第二級。所述第一級包含與含硫物質反應以產生酸性氣體的金屬鹽。所述第二級被配置成接收在所述第一級中產生的所述酸性氣體。所述第二級中的吸附襯底吸附所述酸性氣體。一種對氣體進行取樣的方法包含將氣體引導到第一級內的金屬...

本發明描述經設計以用于在工件處理步驟期間支撐工件的靜電夾盤，所述靜電夾盤包含氣流系統。流系統。流系統。

一種盒包含具有蓋主體的蓋、具有底板主體的底板，以及一或多個密封表面。所述一或多個密封表面形成于所述底板主體及所述蓋主體中的一或多者上，以提供密封。一種產生光罩盒的方法包含使一或多個密封表面形成于底板的底板主體及蓋的蓋主體中的至少一者上。...

本實用新型涉及一種用于流體回路的操作性組件和一種用于流體回路的隔膜閥。本實用新型提供緩解流體回路中的靜電電荷的操作性組件。說明性實施例包含隔膜閥，所述隔膜閥提供流體控制并允許靜電荷在這些隔膜閥接地時耗散。散。散。

本申請涉及碳化硅/石墨復合物與包括所述復合物的物件及組合件。本發明描述一種包含(i)內部塊狀石墨材料及(ii)外部碳化硅基質材料的碳化硅

本申請案涉及具有多個層的燒結多孔體。描述包含由不同金屬粒子制成的多個層且可用作多孔過濾膜的多孔、燒結金屬體，以及制作及使用所述多孔、燒結金屬體的方法。燒結金屬體的方法。燒結金屬體的方法。

本發明提供可用于通過鹵離子交換反應將氯