本發明描述了用組成氣體來填裝氣體混合物供應容器以得到精確組成的氣體混合物的方法，其中所述氣體混合物包含至少兩種組成氣體。可以采用級聯填裝技術，包括使氣體從單個源容器流至多個目標容器，或從多個源容器流至單個目標容器。所述方法可用以形成用于...

用于確定流體供應容器的終點的裝置和方法，其中當建立流體流動時采用一個靜態流動限制設備和一個選擇性可致動閥元件，控制流體流動通過位于所述流體供應容器的內部容積中的流動通道。終點確定可用于終止來自所述流體供應容器的流體供應和/或從一個流體耗...

描述了一種光電檢查系統，可用于流體分配閥的質量保證測定，所述流體分配閥如被安裝在流體存儲和分配容器上，以及描述了相關聯的方法和非暫態計算機可讀介質，所述非暫態計算機可讀介質存儲用于這樣的質量保證測定的機器可執行指令。所述光電檢查適用于流...

本發明的氣體凈化過濾器單元(10)包含：去除由臭氧產生裝置產生的臭氧所含的雜質中的氣體成分的雜質的第一去除部(11)、及配置在該第一去除部的后段且自去除了氣體成分的雜質中進而去除固體微粒子的雜質的第二去除部(12)。通過自所述氣體凈化過...

本發明涉及具有加強特征的凈化匣。一個實施例涉及一種具有張力部件的凈化匣。凈化系統可包含界定介質腔的可移除式匣。一組張力部件可跨越在第一側壁與第二側壁之間。所述組張力部件可將所述介質腔分為多個腔道。

本發明涉及使用用于凈化包含例如用于半導體制造的液體的可移除式凈化器匣的模塊化凈化系統。凈化系統可包含可移除式凈化器匣，其具有凈化器入口端口及凈化器出口端口；及歧管組合件。所述歧管組合件可包含多個連接系統以提供歧管端口以提供流體往返于所述...

本發明涉及用于流體連接的連接系統。甚至更特定地說，一些實施例涉及搭配半導體制造流體使用的流體連接。所述連接系統使用連接螺母(110)，通過利用所述螺母(110)中的多頭螺紋，連接螺母(110)旋轉小于360度即可密封流體接頭(112、1...

一種流體供給封裝包，包括：一個壓力調節流體貯存和分配容器，一個閥頭，適于分配來自該容器的流體，以及一個抗壓力尖峰組件，適于對抗在流體分配的初期來自所述閥頭的流體的流動中的壓力尖峰。

一種用于分配超高純度的化學試劑的供給器皿，包括限定了能封閉的內部容積的金屬容器，所述金屬容器包括內部表面結構，其中所述內部表面結構被涂覆有超高純度的有效聚全氟烷氧基乙烯涂層。這樣的供給器皿例如可被利用于儲存超高純度的化學試劑，并且用于將...

本發明揭示微孔膜復合體。這些微孔膜復合體經甲醇與水的溶液潤濕且在水中經受高壓釜處理后具有非去濕性。所述微孔膜復合體包括微孔膜載體，所述微孔膜載體在表面和孔上包括涂層，所述涂層包括具有酸性親水性基團的非晶形離聚物，所述微孔膜復合體在水中經...

本發明涉及用于過濾液體的模塊化過濾卡匣，例如，所述液體包含用于半導體制造中的液體。過濾器殼體可界定濾腔，其包括上游部分及下游部分。所述過濾器可進一步包括設置于所述濾腔中的過濾元件。所述過濾元件可至少部分覆蓋所述過濾元件的第一側上的過濾器...

本發明涉及一種模塊化過濾系統，其使用可移除過濾器卡匣來過濾包含(例如)用于半導體制造中的液體的液體。過濾系統可包含：可移除過濾器卡匣，其具有過濾器入口端口及過濾器出口端口；過濾器卡匣固持器，其經配置以接納及保持所述過濾器卡匣；及主組合件...

本發明揭示非去濕性微孔膜復合體。這些微孔膜復合體經甲醇與水的溶液潤濕且在水中經受高壓釜處理后具有非去濕性。所述微孔膜復合體包括涂覆有包括親水性基團的交聯離聚物的微孔膜載體。與所述微孔膜載體相比，所述微孔膜復合體具有小于82％的平均異丙醇...

本發明實施例包括液體過濾構件，其包括上覆于微多孔薄膜上的聚合物納米纖維層。所述過濾構件的壓降與所述微多孔薄膜的壓降大體上相同或比其小，且在表面活性劑存在下，所述過濾構件的粒子保留大于在相同測試條件下僅所述微多孔薄膜的粒子保留。

一種前部開口的晶片容器（３０）具有帶透明殼體的容器部分（３２）和關閉開口的前部的門（３４）。容器部分（３２）在殼體底部上具有機械接口，如運動偶接器（５６），以及在殼體頂部處的插口（７３），以容納附件，尤其是機器人提升凸緣或適配器板（５０...

一種晶片容器，其具有與門尺寸相適應的接收支架。門（９４）包括閉鎖聯動裝置（２５０、２５２），其使得閉鎖部分從門延伸、上升、下降、退回，進入門支架中的閉鎖插座（１５０），或者從閉鎖插座（１５０）中退出。各閉鎖機構采用具有連接手柄（１７０、...