本發(fā)明提供一種制程機(jī)臺(tái)監(jiān)控的離線量測(cè)的方法與系統(tǒng)。提供一自我調(diào)整監(jiān)控規(guī)則數(shù)據(jù)庫(kù),用以儲(chǔ)存用于執(zhí)行晶圓批量處理的預(yù)定監(jiān)控規(guī)則。定義用于執(zhí)行該晶圓批量處理的監(jiān)控?cái)?shù)據(jù),根據(jù)選取自該自我調(diào)整監(jiān)控規(guī)則數(shù)據(jù)庫(kù)中的監(jiān)控規(guī)則取得所欲監(jiān)控?cái)?shù)據(jù),根據(jù)該監(jiān)控...