本申請描述了一種襯底部分上的復合原子層沉積ALD涂層及一種在襯底部分上形成經圖案化ALD涂層的方法。在各種應用中，所述襯底部分包含金屬表面，所述金屬表面易于在其上形成此金屬的氧化物、氮化物、氟化物或氯化物，其中所述金屬表面經配置以在使用...

本發明涉及一種襯底容器(1100)，其包含界定開口的殼(1105)及用于選擇性地密封所述開口的門(1505)。懸臂式支撐托架(1120)支撐所述殼(1105)內的襯底(1115)。所述支撐托架(1120)包含支撐軸環(1300)，其用于...

本發明揭示一種流體閥(700)，其并入具有流體通道(766)的柱塞(760)。所述柱塞連接到耦合到薄膜(720)的(724)軸轂，此軸轂還包含流體通道(726)且所述柱塞與軸轂流體通道形成流體連通。所述軸轂流體通道貫通到閥腔穴(780)...

本發明涉及用于回收印刷電路板的系統及工藝，其中可再利用貴金屬。所述系統通常包含若干模塊以從所述印刷電路板系統地移除材料且將所述貴金屬與所述材料分離。

本發明涉及一種具有整體非弧形頂表面狀突部的靜電吸盤，所述突部具有與橢圓的部分類似的邊緣表面。所述突部的結構導致由所支撐襯底與所述吸盤之間的交互生成的微粒材料減少。通過改善所述突部表面的平滑化及平坦化來達成降低刮擦、打磨、磨損及微粒生成的...

本發明公開一種襯底容器(100)，其包含基底(105)及蓋(115)。蓋(115)配合基底(105)以界定封閉空間。互鎖托架(405)的堆疊可安置于基底(105)內。每一互鎖托架(405)包含嵌入凸緣(410)，其界定用于支撐襯底的配準...

一種用于防止液壓連接器組件泄露的防轉動裝置。防轉動裝置的多個實施例提供機構，借此機構螺紋接合式連接器，諸如壓縮配件，被允許在松開之后僅轉動一圈的小部分。對于許多應用，松開的限制程度足以防止開始泄露。結構上，防轉動裝置可以包括固定至液壓連...

本發明涉及壓力調節器和流體供給封裝包。一種流體供給封裝包，包括：一個壓力調節流體貯存和分配容器，一個閥頭，適于分配來自該容器的流體，以及一個抗壓力尖峰組件，適于對抗在流體分配的初期來自所述閥頭的流體的流動中的壓力尖峰。

本申請涉及用于改善注入束和源壽命性能的碳摻雜劑氣體和協流。具體講，本申請描述了離子注入的方法和系統，其中使用碳摻雜劑源材料實施碳摻雜。描述了各種氣體混合物，包括碳摻雜劑源材料，以及用于所述碳摻雜劑的協流氣體結合物。描述了在碳摻雜劑源材料...

本發明揭示一種襯底容器，其具有安裝到偏置致動連桿組的襯底保持件及具有閂鎖協助的門組合件。本發明揭示用于將所述襯底保持件偏置于襯底非接合位置中的各種配置。所述偏置幫助防止所述襯底保持件歸因于摩擦力而意外停機，所述摩擦力原本可能抵消原本所依...

本發明涉及具有視需要氧化釔覆蓋層的經AlON涂布的基質。具體講，本發明公開一種位于陶瓷基質上的抗氟電漿涂層。在一個具體實例中，該組成物包括覆蓋基質的約2微米厚的AlON涂層及視需要具有的覆蓋該AlON涂層的約3微米厚的氧化釔涂層。

本發明涉及一種用于從微電子裝置相對于氮化硅選擇性去除p摻雜多晶硅(例如，硼摻雜多晶硅)的去除組合物及方法，所述微電子裝置上具有所述材料。襯底優選包括高k/金屬柵極集成方案。

本發明描述一種用于將氣體輸送到等離子體浸沒槍的氣體供應組合件。所述氣體供應組合件包含：流體供應包裝，其經配置以將惰性氣體輸送到等離子體浸沒槍以用于產生惰性氣體等離子體，所述惰性氣體等離子體包含在離子布植操作中用于調制襯底的表面電荷的電子...

本發明描述不同類型及形式的吸附劑，如有用地用于氣體供應包裝中，所述氣體供應包裝包含盛放此吸附劑以將吸附氣體存儲于其上的氣體存儲及施配容器，及固定于所述容器以在其施配條件下從所述氣體供應包裝排放所述吸附氣體的氣體施配組合件。同樣描述對應氣...

本發明描述一種多孔膜，其包含以下各者：多孔膜的表面上的至少一個聚合特征，其中使用納米級注入模制裝置將所述至少一個聚合特征接合到所述膜。本發明的另一方面包含一種多孔膜，其包含以下各者：第一薄膜層；第二薄膜層；所述第一薄膜層與所述第二薄膜層...

本發明描述一種固體遞送前驅物，其可用于揮發以產生用于氣相沉積工藝的前驅物蒸汽。所述固體遞送前驅物包括例如呈例如丸粒、薄片、小片、珠粒、圓盤或單塊的形式的壓實顆粒前驅物的固體本體。當利用于例如化學氣相沉積、脈沖化學氣相沉積或原子層沉積的氣...

本發明實施例涉及一種用于基于襯里的壓力配送設備的連接器。一種基于襯里的壓力配送容器，包括基于連接器安裝的探針，該探針被設置為使得汲取管坐靠在襯里配件的內表面上以用于密封功能。汲取管和探針可以包括增大的和/或匹配的流動區域。逆流防止元件可...

揭示一種纖維素碳熱解材料，其可用作氣體吸附劑以用于氣體存儲和遞送裝置、氣體過濾器、氣體純化器和其它應用中。所述纖維素碳熱解材料包含源于纖維素前體材料(例如微晶纖維素)的微孔碳。在吸附劑應用中，所述纖維素碳熱解物可以(例如)微粒形式或單片...

本發明是一種氣體純化器，其例如在次大氣壓下自惰性氣體及還原氣體移除濕氣及氧氣。該純化器可移除氣流中百萬分之一體積含量的濕氣至低于萬億分之100，且具有較低壓降及較陡穿透曲線。

本發明描述一種包含(i)內部塊狀石墨材料及(ii)外部碳化硅基質材料的碳化硅?石墨復合物，其中所述內部塊狀石墨材料及外部碳化硅基質材料在其間的界面區域處彼此相互滲透，且其中石墨存在于所述外部碳化硅基質材料中的包含物中。此材料可通過在化學...