本發明揭示一種用于從上面具有化學機械拋光CMP后殘余物及污染物的微電子裝置清除所述殘余物及污染物的清潔組合物及方法。所述清潔組合物基本上沒有堿金屬氫氧化物、堿土金屬氫氧化物及四甲基氫氧化銨。所述組合物實現了在不危害低k電介質材料或銅互連...

一種液壓連接器組件和防轉動帶。用于防止液壓連接器組件泄漏的防轉動裝置，防轉動裝置的多個實施例提供機構，借此諸如壓縮配件的螺紋接合式連接器被允許僅在松開之后轉動一圈的小部分。對于許多應用，松開的限制程度足以防止泄漏的開始。結構上，防轉動裝...

本發明揭示用于從上面具有等離子蝕刻后殘余物的微電子裝置清除所述殘余物的清潔組合物及工藝。所述組合物實現所述殘余物材料從所述微電子裝置的高度有效清除，同時又不損壞也存在于所述微電子裝置上的層間電介質、金屬互連材料及/或帽蓋層，所述殘余物材...

本發明涉及一種襯底容器，其包含適于接收呈襯底堆疊的襯底的襯底支撐件，例如同心環。所述容器包含基底及頂蓋以圍封所述襯底堆疊。閂鎖機構適于將所述頂蓋閂鎖到所述基底且將所述襯底堆疊固定于所述容器內。所述閂鎖機構包含位于所述容器的外側部分上的彈...

一種襯底容器包含：容器部分，其具有敞開側或底部；及門，其用以將所述敞開側或底部密封地閉合，所述門及所述容器部分中的一者界定接達結構。所述襯底容器另外包含止回閥組合件，所述止回閥組合件相對于所述接達結構進行保持以提供與所述襯底容器的內部的...

本發明提供一種用于存儲及/或運輸一或多個液浸管組合件的包裝囊袋。所述囊袋包含前側，所述前側沿著第一密封邊緣、第二密封邊緣及密封端可密封地且固定地附接到背側。所述前側與背側在與所述密封端相對的端處界定開口。多個焊接部在所述囊袋的長度的至少...

本文中提供例如用于儲存或施配高純度化學物的襯里以及制造此些襯里的方法。所述襯里抵抗應力引發裂口的形成。在一個方面中，所述襯里包含形成為能夠保持液體的襯里的膜。所述襯里具有：對氣體(例如，氧)的第一障壁層；對所述氣體(例如，氧)的第二障壁...

公開了起泡點在約5.38巴(78psi)與11.03巴(160psi)之間的接枝、不對稱、多孔的超高分子量聚乙烯膜。單體接枝到多孔聚合物膜表面，所述單體具有接枝到膜的一或多個表面的一或多個中性基團或離子交換基團。兩種光引發劑的組合可用于...

本申請涉及襯底容器及用于密封該襯底容器的襯圈。一種具有改進的傳導的襯圈和襯底容器。在一個實施例中，所述襯圈提供兩條密封接觸線。所述襯圈的凸緣部分提供第一密封接觸線，并且提供與軟襯圈材料的牢固但是半剛性的介接，其還可充當所述襯底容器的門與...

一種靜電夾具，包含：一陶瓷結構組件；至少一電極，配置于該陶瓷結構組件之上；以及一表面介電層，配置于該至少一電極上方，該表面介電層被該電極中之一電壓啟動而形成一電荷以靜電式地箝夾一基板至該靜電夾具。該表面介電層包含：(i)一非晶氧化鋁絕緣...

本發明描述使用固體摻雜劑磷及砷源及較高階磷或砷植入源材料的設備及方法。在各種實施方案中，在離子源室中提供固體含磷或含砷材料以用于產生二聚物或四聚物植入物質。在其它實施方案中，通過使用反應器來分解氣態含磷或含砷材料以形成用于離子植入的氣相...

一種氣體存儲及分配器皿，其包含限定氣體存儲內部容積的器皿容器，及固定到所述器皿容器的閥頭調節器組合件，所述閥頭調節器組合件包含安置在所述器皿容器的所述內部容積中的單一氣體壓力調節器，及包含氣動流量控制閥的閥頭，其中所述單一調節器經配置為...

本發明是一種氣體純化器，其例如在次大氣壓下自惰性氣體及還原氣體移除濕氣及氧氣。該純化器可移除氣流中百萬分之一體積含量的濕氣至低于萬億分之100，且具有較低壓降及較陡穿透曲線。

本發明涉及一種從其上具有抗反射涂層ARC材料及/或蝕刻后殘留物的襯底去除所述ARC材料及/或蝕刻后殘留物的液體去除組成物及方法。所述組成物在集成電路的制造中實現ARC材料及/或蝕刻后殘留物的至少部分去除同時對所述襯底上的金屬物質(例如鋁...

本發明描述一種離子植入系統，其包含：離子植入機，所述離子植入機包括殼體，所述殼體界定封圍容積，在所述封圍容積中定位有氣體箱，所述氣體箱經配置以固持一或多個氣體供應容器，所述氣體箱與所述封圍容積中在所述氣體箱外部的氣體進行受限式氣體流動連...

本發明涉及一種離子源設備，其以使得能夠采用低蒸氣壓摻雜劑源材料的方式生成摻雜劑物種。所述離子源設備(10)包括：離子源腔室(12)；及在所述離子源腔室(12)中或與所述離子源腔室(12)相關聯的可消耗結構，所述可消耗結構包括固體摻雜劑源...

實施例提供一種具有大體矩形、非圓柱形輪廓的過濾器。所述過濾器可具有定位于褶蓋之間的多個褶包，所述褶蓋在過濾器主體的腔中界定區域及流動通道。所述褶蓋具有允許流體經由并聯流動或串聯流動而流動穿過所述多個褶包的開口。接合到所述主體的端帽界定用...

本發明涉及用于在廢棄的電氣和電子設備的循環利用期間剝離焊料金屬的裝置和方法。本發明提供的用于循環利用印刷線路板的裝置和方法可以收集電子部件、貴金屬和賤金屬以供重新使用和循環利用。所述裝置總的來說包括機械焊料去除模塊和/或熱模塊、化學焊料...

一種適用于例如450毫米晶片等大晶片的前開式晶片容器，使用具有多個單獨扣件的組件部分以將該組件部分以一適當方式鎖定在一起，進而提供堅固的連接及具有成本效益。容器部具有開口的正面并于底面上容置由多個扭鎖連接器固定的基板，該扭鎖連接器亦提供...

本發明涉及一種形成基于襯里的組件的方法和基于襯里的系統。在一個實施方式中，本發明涉及一種基于襯里的組件，所述組件包括：外層包裝以及放置在所述外層包裝內部的襯里。可通過在所述外層包裝的內部吹塑襯里預制件以形成一個吹塑襯里而形成所述襯里，所...