一種半導(dǎo)體裝置及其制造方法,半導(dǎo)體裝置包括一第一轉(zhuǎn)換器結(jié)構(gòu)、一第二轉(zhuǎn)換器結(jié)構(gòu)及一第一波導(dǎo)部分。該第一轉(zhuǎn)換器結(jié)構(gòu)用以調(diào)變一光學(xué)光以產(chǎn)生一第一經(jīng)調(diào)變光。該第二轉(zhuǎn)換器結(jié)構(gòu)用以調(diào)變該第一經(jīng)調(diào)變光以產(chǎn)生一第二經(jīng)調(diào)變光。該第一波導(dǎo)部分用以使該第一經(jīng)...